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人們通常將材料分為導(dǎo)體、半導(dǎo)體和絕緣體三個(gè)大類。金屬材料是良好的導(dǎo)體材料,在電力方面,鋁及鋁合金和銅及銅合金材料是金屬材料中使用比較廣泛的導(dǎo)電材料,導(dǎo)電性能是這些材料關(guān)鍵的技術(shù)指標(biāo)。衡量材料的導(dǎo)電性能的常見(jiàn)電性能參數(shù)有:電阻率、電阻、電導(dǎo)、電導(dǎo)率、導(dǎo)電率以及電阻溫度系數(shù)、電阻率溫度系數(shù)等。我公司新研發(fā)渦流法電阻率測(cè)試儀,非接觸式測(cè)試,不損傷晶圓表面,方面快捷。
渦流法主要用于非接觸式,可測(cè)量1E-3(1m)至1E + 4(10k)Ω/□電阻范圍。
它可用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體,液晶和新型碳基材料等廣泛領(lǐng)域的測(cè)量。
渦流測(cè)量系統(tǒng)使用電磁感應(yīng)產(chǎn)生的渦流來(lái)測(cè)量電阻。
非接觸式測(cè)量探頭單元的探頭芯(磁性材料)在兩側(cè)(上下)以一定的間隙排列。
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