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非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀,方阻測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法高低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀,遷移率(霍爾)測試儀,少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀,表面光電壓儀JPVSPV。為碳化硅、硅片、氮化鎵、氧化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案。
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非接觸式無損方塊電阻測試儀、晶圓方阻測試儀,方阻測試儀,硅片電阻率測試儀,渦流法高低電阻率分析儀,晶錠電阻率分析儀,渦流法電阻率探頭和PN探頭測試儀,遷移率(霍爾)測試儀,少子壽命測試儀,晶圓、硅片厚度測試儀,表面光電壓儀JPV\SPV。為碳化硅、硅片、氮化鎵、氧化鎵、襯底和外延廠商提供測試和解決方案。
憑借先進的技術和豐富的產品線,已發(fā)展成為中國大陸少數具有一定國際競爭力的半導體專用設備提供商,產品得到眾多國內外主流半導體廠商的認可,并取得良好的市場口碑。
主要應用領域:碳化硅測試、氮化鎵測試、晶圓硅片測試、氧化鎵測試、襯底和外延廠商、光伏電池片測試。
少子壽命測試采用了測量和分析技術,包括準穩(wěn)定態(tài)光電導(QSSPC)測量方法。可靈敏地反映單、多晶硅片的重金屬污染及陷阱效應,表面復合效應等缺陷情況。WCT在大于20%的超高效率太陽能電池(HIT,MWT,EWT,PREL,等等)的研發(fā)和生產過程中是一種被廣泛選用的檢測工具。這種QSSPC測量少子壽命的方法可以在電池生產的中間任意階段得到一個類似光照IV曲線的開路電壓曲線,可以結合最后的IV曲線對電池制作過程進行數據監(jiān)控和參數優(yōu)化。主要應用:分布監(jiān)控和優(yōu)化制造工藝其它應用:檢測原始硅片的性能 測試過程硅片的重金屬污染狀況 評價表面鈍化和發(fā)射極擴散摻雜的好壞 用得到的類似IV的開壓曲線來評價生產過程中由生產環(huán)節(jié)造成的漏電。 主要特點: 只要輕輕一點就能實現硅片的關鍵性能測試,包括表面電阻,少子壽命,陷阱密度,發(fā)射極飽和電流密度和隱含電壓。
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