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非接觸方阻測試儀在半導體材料的研發(fā)和生產(chǎn)中的作用
2024-11-13產(chǎn)品中心/ products
無損方塊電阻測試儀包含一個渦流傳感器組,感應(yīng)弱電流到導電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測量儀試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測量對象的片電阻相關(guān)的電磁場。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu),也不受表面粗糙度影響。
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無損方塊電阻測試儀介紹:
非接觸式單點薄層電測量系統(tǒng)。該裝置包含一個渦流傳感器組,感應(yīng)弱電流到導電薄膜和材料。非接觸式薄膜方塊電阻測量儀試樣中的感應(yīng)電流產(chǎn)生與測量對象的片電阻相關(guān)的電磁場。電渦流技術(shù)不依賴于表面特征或形貌。此外,非接觸式單點方阻測試儀不需要如已知的2或4點探針測試(2PP, 4PP)或霍爾效應(yīng)或范德波測量一樣進行任何形式的充分的樣品接觸備樣。非接觸式單點方阻測試儀既不需要設(shè)置測試結(jié)構(gòu),也不受表面粗糙度影響。
渦流儀器不存在機械磨損,使用壽命長。無損方塊電阻測試儀的獨立性與接觸質(zhì)量和它的高速允許實現(xiàn)高重復性和準確性,有利于在研發(fā)和測試實驗室的各種薄膜的系統(tǒng)質(zhì)量保證。
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